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Titre Nondestructive evaluation and reliability of micro- and nanomaterial systems : 18-19 March 2002, Newport Beach, USA / Norbert Meyendorf, George Y. Baaklini, Bernd Michel, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering.

Adresse Bibliographique Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2002.

Exemplaires

Localisation Cote Statut
 Innovative University Durant Collection  TA418.9.N35 N66 2002    AVAILABLE
Description ix, 228 p : ill ; 28 cm.
Collection SPIE proceedings series ; v. 4703
Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 4703.
Bibliography Includes bibliographical references and index.
Sujet Nanostructured materials -- Testing.
Microelectromechanical systems -- Evaluation.
Microelectromechanical systems -- Reliability.
Non-destructive testing.
Surfaces (Technology)
Quality control.
Autre Auteur Meyendorf, Norbert.
Baaklini, George Y.
Michel, Bernd.
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
ISBN 0819444510
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